该的例子产于华南沿海地区的大中型半导体材料手工制造机构,主要的生孩子融合电路原理存储芯片。在生孩子阶段中,晶圆擦拭、蚀刻等生产工序需选择很多智能级磷酸(溶解度≥85%),由此而知造成高氧化还原电位含磷焦化废水。机构改变工作公共设施就没有办法满足需要发展从严的排出标准(TP≤0.5mg/L),急要升阶改建。
废水处理方法化学成分及来原
废污水重要來原于二个阶段:晶圆洁净废污水(占总蓄水量60%)、机 清洁器废污水(30%)或者水平面清洁器废污水(10%)。土质特征英文表达为:pH值1.5-2.5,总磷溶液浓度800-1200mg/L,氟阴离子分子量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并包含的轻微高价属(铜、锌等)。
清理工艺过程过程
该项目适用"预办理+电化学沉淀出的+高阶钝化+层次过滤器"的组和的工艺:
调池
:教育均衡发展水污染储水量,均有pH手机在线检测程序
七级反映池
:加药氧化钙乳调理pH至8.5-9.0,转变成Ca3(PO4)2沉淀自己
2级作用池
:调用PAC和PAM淬炼二沉池功能
斜板沉淀自己池
:进行固液区分,工业废水进人脱水怎么办操作系统
Fenton硫化摸块
:H2O2与Fe²⁺协同工作做用吸附有机酸物
多物质过滤程序器
:石英砂砂+生物炭组成吸附,确保安全留水清新
正离子互相交换模式
:进一歩避开残存材料阴阳离子
终于郊果
系统性进行动态平衡后,出液水的质量:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阴阳离子≤5mg/L,每一项指标图依赖于《微电子产业水被污染的物尾气废水释放标准标准》(GB 39731-2020)。年均才能减少磷尾气废水释放标准约15吨,污泥干化造成量较传统的方法减小40%,进行的成本把控在8.3元/吨水。